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晶振片
  • 规 格
  • inficon 石英晶振片用于所有标准 inficon 监控器或控制器以及 inficon (或其他制造商的)单、双或多晶体传感器的真空应用。为最大限度地提高晶控片(晶振片)的使用寿命、稳定而准确的沉积速率控制,每个晶控片(晶振片)都经过如下检查:
    1)。阻抗阻抗的检查有助于保证测量的稳定性和晶控片(晶振片)的使用寿命。阻抗指标体现了晶控片的电接触性和电极粘连度。
    2)。频率确保起始频率在较小范围内,有助于确保您准确的厚度测量。
    3)。曲率曲率的测试,是为了保证共振的稳定性,差劲的曲率将降低晶控片(晶振片)测量过程的稳定性。
    4)。外观检测每个晶体的电极均匀性、表面缺陷、以及其他的外观缺陷都得到检查,从而排除了较差的电极粘连性和可能的污染。
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